ULVAC 愛發科 DIS-252 渦旋式干真空泵

真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對

被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講

，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和

維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型

，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工

、食品、電子鍍膜等行業。

由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此

任何一種類型的真空泵都不可能適用于所有的工作

壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作

要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真

空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組

合起來，以機組型式應用。

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑

閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民

經濟各行業應用真空工藝過程中的主力泵種。

近年來， 伴隨著我國經濟持續高速發展，真空泵相關

下游應用行業保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領

域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業實現

了持續穩定地快速的發展。

（1）泵總體結構型式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。

立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比

較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故

這種型式多用于小泵。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統

管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進

、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右

兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接

旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩定性好。一

般大、中型泵多采用此種結構。

泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙

容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較

高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。

（2）泵的傳動方式

真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對

同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結

構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉

子的同一側如圖。

從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉

子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動

軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過

程中均勻。

這種傳動方式的最大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，

增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便

；b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一

側。

ULVAC 愛發科 DIS-252 渦旋式干真空泵

(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；

(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩

。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損

失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；

(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空

系統的污染；

(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被

抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查

比較困難。

⑴真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響

。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振

動措施。

⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆

粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體

成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸

氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路

上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

⑶真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程

中產生的全部氣體量。

⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而

，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合

起來，互相補充才能滿足抽氣要求。

如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型

濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬

有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較

好的真空度。

另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；

有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需

要把泵組合起來使用。

⑸真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，

應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射

離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵

，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等

，也能達到清潔真空要求。

⑹正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作

壓強范圍，如：2BV系列水環真空泵工作壓強范圍

760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內，泵的

抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線）

，其穩定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而，泵的工

作點應該選在這個范圍之內較為適宜，而不能讓它在

25~30mmHg下長期工作。

⑺真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境

不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到

室外。

⑻真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工

作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真

空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，最好

能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設

備工作真空度半個到一個數量級。

⑼真空泵的價格、運轉及維修費用。